قوللىنىشچان پروگرامماhafnium tetrachlorideيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا (HfCl₄) ئاساسلىقى يۇقىرى دىئېلېكترىك تۇراقلىق (يۇقىرى k) ماتېرىيال ۋە خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) جەريانلىرىنى تەييارلاشقا مەركەزلەشكەن. تۆۋەندىكىسى ئۇنىڭ كونكرېت قوللىنىشچان پروگراممىلىرى:
يۇقىرى دىئېلېكترىك تۇراقلىق ماتېرىياللارنى تەييارلاش
ئارقا كۆرۈنۈش: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ترانسېنىستورنىڭ ھەجىمى داۋاملىق كىچىكلەيدۇ ، ئەنئەنىۋى كرېمنىي تۆت ئوكسىد (SiO₂) دەرۋازىسىنىڭ ئىزولياتسىيىلىك قەۋىتى ئېقىپ كېتىش مەسىلىسى سەۋەبىدىن يۇقىرى ئىقتىدارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئېھتىياجىنى تەدرىجىي قاندۇرالمايدۇ. يۇقىرى دىئېلېكترىك تۇراقلىق ماتېرىياللار ترانسېنىستورنىڭ سىغىمچانلىقىنى كۆرۈنەرلىك ئاشۇرالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنى ئۆستۈرىدۇ.
قوللىنىشچانلىقى: Hafnium tetrachloride يۇقىرى k ماتېرىياللارنى تەييارلاشنىڭ مۇھىم ئالدىن بېشارىتى (مەسىلەن ، ھافنىي ئوكسىد ، HfO₂). تەييارلىق جەريانىدا ، خافنىي تېتراخلورىد خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق خافنىي تۆت ئوكسىد پىلاستىنكىسىغا ئايلىنىدۇ. بۇ فىلىملەرنىڭ دىئېلېكترىك خۇسۇسىيىتى ناھايىتى ياخشى بولۇپ ، ترانسېنىستورنىڭ دەرۋازا ئىزولياتسىيىلىك قەۋىتى سۈپىتىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. مەسىلەن ، MOSFET نىڭ يۇقىرى k دەرۋازا دىئېلېكترىك HfO₂ (مېتال ئوكسىد-يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەيدان ئېففېكتى ترانس ist ور) نىڭ چۆكۈپ كېتىشىدە ، خافنىي تېتراخلورىدنى ھافنىينىڭ كىرىش گازى قىلىپ ئىشلىتىشكە بولىدۇ.
خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) جەريانى
ئارقا كۆرۈنۈش: خىمىيىلىك ھور چۆكۈش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا كەڭ قوللىنىلىدىغان نېپىز پەردە چۆكۈش تېخنىكىسى بولۇپ ، خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەر ئارقىلىق يەر ئاستى يۈزىدە تەكشى نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ.
قوللىنىشچانلىقى: Hafnium tetrachloride CVD جەريانىدا مېتال خافنىي ياكى خافنىي بىرىكمە پىلاستىنكىلارنى ساقلاشتا ئالدىنئالا ئىشلىتىلىدۇ. بۇ فىلىملەرنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدە كۆپ خىل ئىشلىتىلىشى بار ، مەسىلەن يۇقىرى ئىقتىدارلىق تىرانسفورموتور ، ئىچكى ساقلىغۇچ قاتارلىقلار. مەسىلەن ، بىر قىسىم ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، خافنىي تېتراخلورىد CVD جەريانى ئارقىلىق كرېمنىي ۋافېرنىڭ يۈزىگە قويۇلۇپ ، ئۈسكۈنىنىڭ ئېلېكتر ئىقتىدارىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
ساپلاشتۇرۇش تېخنىكىسىنىڭ ئەھمىيىتى
ئارقا كۆرۈنۈش: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ، ماتېرىيالنىڭ ساپلىقى ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىغا ئىنتايىن مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد قويۇلغان فىلىمنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
قوللىنىشچانلىقى: ئالىي دەرىجىلىك ئۆزەك ياساشنىڭ تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن ، خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقى ئادەتتە% 99.999 تىن ئېشىپ كېتىشى كېرەك. مەسىلەن ، جياڭسۇ نەندا ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى چەكلىك شىركىتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىلىك خافنىي تېتراخلورىد تەييارلاش پاتېنتىغا ئېرىشتى ، ئۇ يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق پارچىلىنىشنى پەسەيتىش جەريانىنى ئىشلىتىپ ، قاتتىق ھافنىي تېتراخلورىدنى تازىلاپ ، يىغىلغان خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقىنىڭ% 99.99 دىن ئېشىپ كېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد 14nm جەريان تېخنىكىسىنىڭ تەلىپىنى ياخشى قاندۇرالايدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا خافنىي تېتراخلورىدنىڭ قوللىنىلىشى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسىنىڭ ئىقتىدارىنىڭ ياخشىلىنىشىنى ئىلگىرى سۈرۈپلا قالماي ، كەلگۈسىدە تېخىمۇ ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتىغا مۇھىم ماتېرىيال بىلەن تەمىنلەيدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش تېخنىكىسىنىڭ ئۈزلۈكسىز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقى ۋە سۈپىتىگە بولغان تەلەپ كۈنسېرى يۇقىرى كۆتۈرۈلۈپ ، مۇناسىۋەتلىك ساپلاشتۇرۇش تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتىغا تېخىمۇ تۈرتكە بولىدۇ.
| مەھسۇلات ئىسمى | Hafnium tetrachloride |
| CAS | 13499-05-3 |
| بىرىكمە فورمۇلا | HfCl4 |
| مولېكۇلا ئېغىرلىقى | 320.3 |
| كۆرۈنۈش | ئاق پاراشوك |
خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرگە قانداق تەسىر كۆرسىتىدۇ؟
Hafnium tetrachloride نىڭ ساپلىقى (HfCl₄) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە ئىنتايىن مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ، يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارى ۋە سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىدىغان مۇھىم ئامىللارنىڭ بىرى. تۆۋەندىكىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرگە خافنىي تېتراخلورىد ساپلىقىنىڭ كونكرېت تەسىرى:
1. نېپىز پەردىلەرنىڭ سۈپىتىگە ۋە ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ
نېپىز پەردىلەرنىڭ بىردەكلىكى ۋە زىچلىقى: يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) جەريانىدا بىردەك ۋە قويۇق كىنولارنى ھاسىل قىلالايدۇ. ئەگەر خافنىي تېتراخلورىد تەركىبىدە بۇلغانمىلار بولسا ، بۇ بۇلغانمىلار چۆكۈش جەريانىدا كەمتۈك ياكى تۆشۈك ھاسىل قىلىپ ، فىلىمنىڭ بىردەكلىكى ۋە زىچلىقىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن. مەسىلەن ، بۇلغانمىلار فىلىمنىڭ قېلىنلىقىنى تەكشى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، ئۈسكۈنىنىڭ ئېلېكتر ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن.
نېپىز پەردىلەرنىڭ دىئېلېكترىك خۇسۇسىيىتى: يۇقىرى دىئېلېكترىك تۇراقلىق ماتېرىياللارنى تەييارلىغاندا (مەسىلەن ، ھافنىي ئوكسىد ، HfO₂) ، ھافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقى فىلىمنىڭ دىئېلېكترىك خۇسۇسىيىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد ئامانەت قويۇلغان خافنىي تۆت ئوكسىد پىلاستىنكىسىنىڭ يۇقىرى ئېلېكتر تۇراقلىق ، تۆۋەن ئېقىش ئېقىمى ۋە ياخشى ئىزولياتورلۇق خۇسۇسىيىتىگە ئىگە بولالايدۇ. ئەگەر خافنىي تېتراخلورىد تەركىبىدە مېتال بۇلغانمىلار ياكى باشقا بۇلغانمىلار بولسا ، ئۇ قوشۇمچە توك قاچىلىنىپ ، ئېقىش ئېقىمىنى ئاشۇرۇۋېتىشى ۋە فىلىمنىڭ دىئېلېكترىك خۇسۇسىيىتىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن.
2. ئۈسكۈنىنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىگە تەسىر قىلىش
ئېقىپ كېتىش ئېقىمى: خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقى قانچە يۇقىرى بولسا ، ئامانەت قويۇلغان فىلىم قانچە ساپ بولسا ، ئېقىش ئېقىمى شۇنچە كىچىك بولىدۇ. ئېقىش ئېقىمىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ توك سەرپىياتى ۋە ئىقتىدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد ئېقىش ئېقىمىنى كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلىتىدۇ ، بۇ ئارقىلىق ئۈسكۈنىنىڭ ئېنېرگىيە ئۈنۈمى ۋە ئىقتىدارىنى ئۆستۈرىدۇ.
پارچىلىنىش بېسىمى: بۇلغانمىلارنىڭ بولۇشى فىلىمنىڭ پارچىلىنىش بېسىمىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن ، بۇ يۇقىرى بېسىملىق بېسىم ئاستىدا ئۈسكۈنىنىڭ ئاسان بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد فىلىمنىڭ پارچىلىنىش بېسىمىنى ئاشۇرۇپ ، ئۈسكۈنىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرالايدۇ.
3. ئۈسكۈنىنىڭ ئىشەنچلىكلىكى ۋە ئۆمرىگە تەسىر كۆرسىتىش
ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىدا ياخشى ئىسسىقلىق مۇقىملىقىنى ساقلاپ ، ئىسسىقلىق پارچىلىنىش ياكى پاسكىنا ماددىلار كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان باسقۇچ ئۆزگىرىشىدىن ساقلىنالايدۇ. بۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق خىزمەت شارائىتىدا ئۈسكۈنىنىڭ مۇقىملىقى ۋە ئۆمرىنى ياخشىلاشقا ياردەم بېرىدۇ.
خىمىيىلىك مۇقىملىق: ئىممۇنىتېتلار ئەتراپتىكى ماتېرىياللار بىلەن خىمىيىلىك رېئاكسىيە قىلىشى مۇمكىن ، نەتىجىدە ئۈسكۈنىنىڭ خىمىيىلىك مۇقىملىقى تۆۋەنلەيدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد بۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيەنىڭ پەيدا بولۇشىنى ئازايتالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق ئۈسكۈنىنىڭ ئىشەنچلىكلىكى ۋە ئۆمرىنى ئۆستۈرىدۇ.
4. ئۈسكۈنىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ
كەمتۈكلۈكنى ئازايتىش: يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد چۆكۈش جەريانىدىكى نۇقسانلارنى ئازايتىپ ، فىلىمنىڭ سۈپىتىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ. بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئۆستۈرۈپ ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
ئىزچىللىقنى ياخشىلاش: يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد ئوخشىمىغان تۈركۈمدىكى كىنولارنىڭ ئىزچىل ئىجرا بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كەڭ كۆلەمدە ئىشلەپچىقىرىلىشىدا ئىنتايىن مۇھىم.
5. ئىلغار جەريانلارغا بولغان تەسىرى
ئىلغار جەريانلارنىڭ تەلىپىنى قاندۇرۇڭ: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ كىچىك جەريانلارغا قاراپ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ماتېرىياللارغا بولغان ساپلىق تەلىپىمۇ بارغانسىرى يۇقىرى كۆتۈرۈلدى. مەسىلەن ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى 14nm ۋە ئۇنىڭدىن تۆۋەن بولغان جەرياندا ئادەتتە% 99.999 دىن يۇقىرى بولغان ھافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقىنى تەلەپ قىلىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد بۇ ئىلغار جەريانلارنىڭ قاتتىق ماددى تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ ھەمدە ئۈسكۈنىلەرنىڭ يۇقىرى ئىقتىدار ، تۆۋەن توك سەرپىياتى ۋە ئىشەنچلىكلىكى قاتارلىق ئىقتىدارلىرىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
تېخنىكا تەرەققىياتىنى ئىلگىرى سۈرۈش: يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ھازىرقى ئېھتىياجىنى قاندۇرۇپلا قالماي ، كەلگۈسىدە تېخىمۇ ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇش ئۈچۈن مۇھىم ماتېرىيال بىلەن تەمىنلەيدۇ.
خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارى ، ئىشەنچلىكلىكى ۋە ھاياتىغا ئىنتايىن مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى خافنىي تېتراخلورىد فىلىمنىڭ سۈپىتى ۋە ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ ، ئېقىش ئېقىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، پارچىلىنىش بېسىمىنى ئاشۇرالايدۇ ، ئىسسىقلىقنىڭ مۇقىملىقى ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقىنى ئاشۇرىدۇ ، بۇ ئارقىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئومۇمىي ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى ئۆستۈرىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش تېخنىكىسىنىڭ ئۈزلۈكسىز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، خافنىي تېتراخلورىدنىڭ ساپلىقىغا بولغان تەلەپ كۈنسېرى يۇقىرى كۆتۈرۈلۈپ ، مۇناسىۋەتلىك ساپلاشتۇرۇش تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتىغا يەنىمۇ تۈرتكە بولىدۇ.
يوللانغان ۋاقتى: Apr-22-2025