تانتال پېنتاخلورىد (TaCl₅) - دائىم دېيىلىدۇتانتال خلورىد- ئاق ، سۇدا ئېرىيدىغان خىرۇستال پاراشوك بولۇپ ، ئۇ نۇرغۇنلىغان يۇقىرى تېخنىكىلىق جەريانلاردا كۆپ تەرەپلىمىلىك رولىنى ئوينايدۇ. مېتاللورگىيە ۋە خىمىيەدە ئۇ ساپ تانتالنىڭ ئېسىل مەنبەسى بىلەن تەمىنلەيدۇ: تەمىنلىگۈچىلەر «تانتال (V) خىلورنىڭ ئېسىل سۇدا ئېرىيدىغان كىرىستال تانتال مەنبەسى» دەپ ئەسكەرتتى. بۇ رېئاكتور ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق تانتالنى قەيەرگە قويۇش ياكى ئۆزگەرتىش كېرەك بولسا ، ئىنتايىن مۇھىم قوللىنىشچان پروگراممىنى تاپالايدۇ: مىكرو ئېلېكترون ئاتوم قەۋىتى (ALD) دىن تارتىپ ئالەم بوشلۇقىدىكى چىرىشتىن ساقلاش پەردىسىگىچە. بۇ مەزمۇنلارنىڭ ھەممىسىدە ماددى ساپلىق ھەممىدىن مۇھىم - ئەمەلىيەتتە ، يۇقىرى ئىقتىدارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئادەتتە TaCl₅ نى «> 99.99% ساپلىق» تا تەلەپ قىلىدۇ. EpoMaterial مەھسۇلات بېتى (CAS 7721-01-9) يۇقىرى دەرىجىدىكى تانتال خىمىيىسىنىڭ باشلىنىش ماتېرىيالى سۈپىتىدە يۇقىرى ساپلىقتىكى TaCl₅ (% 99.99) نى گەۋدىلەندۈردى. قىسقىسى ، TaCl₅ ئالدىنقى قاتاردىكى ئۈسكۈنىلەرنى ياساشتىكى بىر خىل لىنفىن بولۇپ ، 5nm يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تۈگۈندىن تارتىپ ئېنېرگىيە ساقلاش كوندېنساتورى ۋە چىرىشكە چىداملىق زاپچاسلارغىچە بولىدۇ ، چۈنكى ئۇ كونترول قىلىنغان شارائىتتا ئاتوم ساپ تەننى ئىشەنچلىك يەتكۈزەلەيدۇ.
رەسىم: يۇقىرى ساپلىقتىكى تانتال خلورىد (TaCl₅) ئادەتتە خىمىيىلىك پارنىڭ چۆكۈشى ۋە باشقا جەريانلاردا تانتالنىڭ مەنبەسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدىغان ئاق كىرىستال پاراشوك.
خىمىيىلىك خۇسۇسىيەت ۋە ساپلىق
خىمىيىلىك جەھەتتىن ، تانتال پېنتاخلورىد TaCl₅ بولۇپ ، مولېكۇلا ئېغىرلىقى 358.21 ، ئېرىتىش نۇقتىسى 216 ° C ئەتراپىدا. ئۇ نەملىككە سەزگۈر ھەم گىدرولىزنى باشتىن كەچۈرىدۇ ، ئەمما ئىنېرت شارائىتىدا ئۇ ئەۋرىشىم ۋە پاكىز پارچىلىنىدۇ. دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىقنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن TaCl₅ نى ئىنچىكە ياكى پارچىلىغىلى بولىدۇ (كۆپىنچە% 99.99 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى). يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئالەم بوشلۇقىنى ئىشلىتىش ئۈچۈن ، بۇ خىل ساپلىقنى سۆھبەتلىشىشكە بولمايدۇ: ئالدىدىكى ئىزدىكى بۇلغانمىلار نېپىز پەردە ياكى قېتىشما چۆكمىلەردىكى كەمتۈكلۈك بولۇپ قالىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى TaCl₅ ئامانەت قويۇلغان تانتال ياكى تانتال بىرىكمىسىنىڭ ئەڭ تۆۋەن بۇلغىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. دەرۋەقە ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئالدىنئالا ئىشلەپچىقارغۇچىلار TaCl₅ دا «> 99.99% ساپلىق» نى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن ، جەرياننى (رايوننى پىششىقلاپ ئىشلەش ، ئايرىش) ئېنىق قىلىپ ، كەمتۈكسىز چۆكۈشنىڭ «يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىسى ئۆلچىمى» گە يېتىدۇ.
EpoMaterial تىزىمىنىڭ ئۆزى بۇ تەلەپنى تەكىتلەيدۇ: ئۇنىڭTaCl₅مەھسۇلاتنىڭ ساپلىقى% 99.99 بولۇپ ، ئىلغار نېپىز پەردە جەريانلىرىغا كېرەكلىك دەرىجىنى ئەكس ئەتتۈرىدۇ. ئورالما ۋە ھۆججەتلەر ئادەتتە مېتال تەركىبى ۋە قالدۇق ماددىلارنى ئىسپاتلايدىغان ئانالىز گۇۋاھنامىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. مەسىلەن ، بىر CVD تەتقىقاتىدا مەخسۇس ساتقۇچى تەمىنلىگەن TaCl₅ «ساپلىقى% 99.99» نى ئىشلىتىپ ، يۇقىرى تەجرىبىخانىلارنىڭ ئوخشاش دەرىجىدىكى ماتېرىياللارنى مەنبە قىلىدىغانلىقىنى كۆرسەتتى. ئەمەلىيەتتە ، 10 ppm دىن تۆۋەن مېتال بۇلغانمىلار (Fe, Cu قاتارلىقلار) تەلەپ قىلىنىدۇ ھەتتا% 0.001–0.01 نىجاسەت دەرۋازا ئېلېكتر ياكى يۇقىرى چاستوتىلىق كوندېنساتورنى بۇزىدۇ. شۇڭا ، ساپلىق پەقەت سېتىشلا ئەمەس ، زامانىۋى ئېلېكترون ، يېشىل ئېنېرگىيە سىستېمىسى ۋە ئالەم قاتنىشى زاپچاسلىرى تەلەپ قىلغان ئىقتىدار ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى قولغا كەلتۈرۈش تولىمۇ مۇھىم.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى رولى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ، TaCl₅ ئاساسلىقى خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) ئالدىنئالا ئىشلىتىلىدۇ. TaCl₅ نىڭ ھىدروگېننى ئازايتىشى ئېلېمېنتلىق تانتال ھاسىل قىلىپ ، ئۇلتراتىن مېتال ياكى دىئېلېكترىك پىلاستىنكا ھاسىل قىلالايدۇ. مەسىلەن ، پلازما ياردەم قىلغان CVD (PACVD) جەريانى بۇنى كۆرسەتتى
ئوتتۇراھال تېمپېراتۇرىدا يۇقىرى ساپلىقتىكى تانتال مېتالنى ئاستىرتتىن ساقلىيالايدۇ. بۇ ئىنكاس پاكىز (پەقەت HCl نى قوشۇمچە مەھسۇلات سۈپىتىدە ئىشلەپ چىقىرىدۇ) ، ھەتتا چوڭقۇر ئورەكلەردىمۇ ماس كېلىدىغان Ta فىلىم بېرىدۇ. تانتال مېتال قەۋىتى ئۆز-ئارا ئۇلانغان بۆلەكلەردە تارقىلىش توسىقى ياكى يېپىشتۇرۇش قەۋىتى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ: Ta ياكى TaN توسىقى مىسنىڭ كرېمنىيغا كۆچۈشىنى توسىدۇ ، TaCl₅ نى ئاساس قىلغان CVD بولسا بۇ خىل قەۋەتلەرنى مۇرەككەپ توپلوگىيىگە بىردەك ساقلاشنىڭ بىر يولى.
ساپ مېتالدىن باشقا ، TaCl₅ يەنە تانتال ئوكسىد (Ta₂O₅) ۋە تانتال سىلتسىيلىق پىلاستىنكىلارنىڭ ALD ئالدىن بېشارىتى. ئاتوم قەۋىتى چۆكۈش (ALD) تېخنىكىسى TaCl₅ تومۇرنى ئىشلىتىدۇ (كۆپىنچە O₃ ياكى H₂O بىلەن) Ta₂O₅ نى يۇقىرى κ دىئېلېكترىك قىلىپ ئۆستۈرىدۇ. مەسىلەن ، Jeong قاتارلىقلار. TaClO ۋە ئوزوندىن Ta₂O₅ نىڭ ALD نى كۆرسىتىپ ، ° C 300 دە ° 0.77 Å گە يەتتى. بۇ خىل Ta₂O₅ قەۋىتى كېيىنكى ئەۋلاد دەرۋازا ئېلېكتر ئەسۋابى ياكى ئىچكى ساقلىغۇچ (ReRAM) ئۈسكۈنىلىرىنىڭ يوشۇرۇن كاندىداتلىرى ، ئۇلارنىڭ يۇقىرى ئېلېكتر تۇراقلىقلىقى ۋە مۇقىملىقى سەۋەبىدىن. يېڭىدىن گۈللىنىۋاتقان لوگىكا ۋە ئىچكى ساقلىغۇچ ئۆزەكلىرىدە ، ماتېرىيال ئىنژېنېرلىرى «3nm تۈگۈن» تېخنىكىسىنىڭ TaCl₅ نى ئاساس قىلغان چۆكۈشكە بارغانسېرى تايىنىدۇ: ئالاھىدە تەمىنلىگۈچى TaCl₅ نىڭ «CVD / ALD جەريانلىرىنىڭ تانتالنى ئاساس قىلغان توساق قەۋىتى ۋە دەرۋازا ئوكسىدلىرىنى 5nm / 3nm ئۆزەك قۇرۇلمىسىغا ئامانەت قويۇشتىكى كۆڭۈلدىكىدەك ئالدىنئالا» ئىكەنلىكىنى كۆرسەتتى. باشقىچە قىلىپ ئېيتقاندا ، TaCl₅ ئەڭ يېڭى مور قانۇنىنى كېڭەيتىشنىڭ يادروسى.
فوتوگراف ۋە ئۈلگە كۆرسىتىش باسقۇچلىرىدىمۇ ، TaCl₅ ئىشلىتىش ئۇسۇلىنى بايقىدى: خىمىكلار ئۇنى يېپىشتۇرۇش ياكى تاش مەتبەئە جەريانىدا خلورلاش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىپ ، ماسكا تاقايدىغان تانتال قالدۇقىنى تونۇشتۇرىدۇ. ئوراش جەريانىدا ، TaCl₅ سېنزور ياكى MEMS ئۈسكۈنىلىرىدە قوغدىغۇچى Ta₂O₅ قاپلاشنى ھاسىل قىلالايدۇ. بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ھەممىسىدە ، مۇھىمى TaCl₅ نى ھور شەكلىدە يەتكۈزگىلى بولىدۇ ، ئۇنىڭ ئۆزگىرىشى قويۇق ، يېپىشقاق كىنولارنى ئىشلەپ چىقىرىدۇ. بۇ نېمە ئۈچۈن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فابنىڭ پەقەت بەلگىلەيدىغانلىقىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇئەڭ يۇقىرى ساپلىق TaCl₅- چۈنكى ppb دەرىجىلىك بۇلغىمىلارمۇ ئۆزەك دەرۋازىسى دىئېلېكترىك ياكى ئۆز-ئارا ئۇلىنىشتىكى كەمتۈكلۈك سۈپىتىدە كۆرۈلىدۇ.
سىجىل ئېنېرگىيە تېخنىكىسىنى قوزغىتىش
تانتال بىرىكمىسى يېشىل ئېنېرگىيە ۋە ئېنېرگىيە تېجەيدىغان ئۈسكۈنىلەردە ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ ، تانتال خلورىد بۇ ماتېرىياللارنىڭ يۇقىرى ئېقىمى قوزغىغۇچى. مەسىلەن ، تانتال ئوكسىد (Ta₂O₅) يۇقىرى ئىقتىدارلىق كوندېنساتوردا دىئېلېكترىك سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، بولۇپمۇ تانتال ئېلېكتىرولىزلىق كوندېنساتور ۋە تانتالنى ئاساس قىلغان دەرىجىدىن تاشقىرى كوندېنساتور - قايتا ھاسىل بولىدىغان ئېنېرگىيە سىستېمىسى ۋە ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. Ta₂O₅ نىڭ نىسپىي ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى (ε_r ≈ 27) بولۇپ ، ھەجىمى يۇقىرى سىغىمچانلىقى بار كوندېنساتورلارنى تەمىنلەيدۇ. كەسىپ پايدىلىنىش ماتېرىيالىدا مۇنداق دېيىلدى: «Ta₂O₅ دىئېلېكترىك تېخىمۇ يۇقىرى چاستوتىلىق AC مەشغۇلاتىنى قوزغىتىدۇ these بۇ ئۈسكۈنىلەرنى توپ سىلىقلاشتۇرغۇچ قىلىپ توك بىلەن تەمىنلەشكە ماسلاشتۇرىدۇ». ئەمەلىيەتتە ، TaCl₅ نى بۇ كوندېنساتورلار ئۈچۈن ئىنچىكە بۆلۈنگەن Ta₂O₅ تالقىنى ياكى نېپىز پەردىگە ئايلاندۇرغىلى بولىدۇ. مەسىلەن ، ئېلېكتىرولىزلىق كوندېنساتورنىڭ ئانودى ئادەتتە ئېلېكتر خىمىيىلىك ئوكسىدلىنىش ئارقىلىق ئۆستۈرۈلگەن Ta₂O₅ دىئېلېكترىك بىلەن سوقۇلغان شارسىمان تانتال. تانتال مېتالنىڭ ئۆزى TaCl₅ ھاسىل قىلغان چۆكۈشتىن كېيىن ئوكسىدلىنىشتىن كېلىدۇ.
كوندېنساتوردىن باشقا ، تانتال ئوكسىد ۋە نىترىد باتارېيە ۋە يېقىلغۇ باتارېيە زاپچاسلىرى ئۈستىدە ئىزدىنىلىۋاتىدۇ. يېقىنقى تەتقىقاتلار Ta₂O₅ نىڭ سىغىمى يۇقىرى ۋە مۇقىملىقى سەۋەبىدىن ئۈمىدۋار لى ئىئون باتارېيە ئانود ماتېرىيالى دەپ كۆرسەتتى. تانتال كۆپەيتىلگەن كاتالىزاتور ھىدروگېن ھاسىل قىلىش ئۈچۈن سۇ بۆلۈشنى ياخشىلايدۇ. گەرچە TaCl₅ نىڭ ئۆزى باتارېيەگە قوشۇلمىغان بولسىمۇ ، ئەمما ئۇ پىرولىز ئارقىلىق نانو تانتال ۋە Ta ئوكسىد تەييارلاشنىڭ يولى. مەسىلەن ، TaCl₅ تەمىنلىگۈچىلەر ئۆزلىرىنىڭ ئىلتىماس تىزىملىكىدىكى «دەرىجىدىن تاشقىرى كوندېنساتور» ۋە «يۇقىرى CV (ئۆزگىرىش كوئېففىتسېنتى) تانتال تالقىنى» تىزىملىكىنى تەمىنلەپ ، ئېنېرگىيە تېجەشنىڭ ئىلغارلىقىدىن بېشارەت بېرىدۇ. بىر ئاق قەغەز ھەتتا TaCl₅ نى خلور-ئىشقار ۋە ئوكسىگېن ئېلېكترودنىڭ سىرلىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بۇ يەردە Ta ئوكسىد قاپلىغۇچى (Ru / Pt ئارىلاشتۇرۇلغان) كۈچلۈك ئۆتكۈزگۈچ پىلاستىنكا ھاسىل قىلىپ ئېلېكترود ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ.
چوڭ كۆلەملىك قايتا ھاسىل بولىدىغان ماددىلاردا تانتال زاپچاسلىرى سىستېمىنىڭ چىدامچانلىقىنى ئاشۇرىدۇ. مەسىلەن ، Ta نى ئاساس قىلغان كوندېنساتور ۋە سۈزگۈچ شامال تۇربىسى ۋە قۇياش ئېنېرگىيىسى تەتۈر ئايلىنىشتىكى توك بېسىمىنى مۇقىملاشتۇرىدۇ. ئىلغار شامال تۇربىنلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى TaCl₅ ئالدىنئالا ئارقىلىق ياسالغان Ta بار بولغان ئېلېكتر قەۋىتىنى ئىشلىتىشى مۇمكىن. قايتا ھاسىل بولىدىغان مەنزىرىنىڭ ئومۇمىي تەسۋىرى:
رەسىم: قايتا ھاسىل بولىدىغان ئېنېرگىيە ئورنىدىكى شامال تۇربىسى. شامال ۋە قۇياش ئېنېرگىيىسى فېرمىسىدىكى يۇقىرى بېسىملىق ئېلېكتر سىستېمىسى ھەمىشە ئىلغار كوندېنساتور ۋە دىئېلېكترىك (مەسىلەن Ta₂O₅) غا تايىنىپ توكنى راۋانلاشتۇرىدۇ ۋە ئۈنۈمنى ئۆستۈرىدۇ. TaCl₅ غا ئوخشاش تانتال ئالدىنئالا بۇ زاپچاسلارنىڭ توقۇلمىسىنى تىرەك قىلىدۇ.
ئۇنىڭدىن باشقا ، تانتالنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى (بولۇپمۇ ئۇنىڭ Ta₂O₅ يۈزى) ھىدروگېن ئىقتىسادىدىكى يېقىلغۇ باتارېيە ۋە ئېلېكترولىزلاشتۇرغۇچنى جەلپ قىلىدۇ. يېڭىلىق يارىتىشچان كاتالىزاتور TaOx تىرەكلىرىنى ئىشلىتىپ قىممەتلىك مېتاللارنى مۇقىملاشتۇرىدۇ ياكى ئۆزى كاتالىزاتور رولىنى ئوينايدۇ. يىغىپ ئېيتقاندا ، ئەقلىي ئىقتىدارلىق توردىن EV توك قاچىلىغۇچقىچە بولغان سىجىل ئېنېرگىيە تېخنىكىسى ھەمىشە تانتالدىن ياسالغان ماتېرىياللارغا باغلىق ، TaCl₅ بولسا ئۇلارنى يۇقىرى ساپلىقتىكى مۇھىم يەم-خەشەك.
ئالەم قاتنىشى ۋە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار
ئالەم بوشلۇقىدا ، تانتالنىڭ قىممىتى ئىنتايىن مۇقىملىقتا. ئۇ چىرىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرانىڭ ئېقىپ كېتىشىدىن ساقلايدىغان تومۇرسىز ئوكسىد (Ta₂O₅) ھاسىل قىلىدۇ. تاجاۋۇزچىلىق مۇھىتىنى كۆرىدىغان زاپچاسلار - تۇربىنا ، راكېتا ياكى خىمىيىلىك پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈسكۈنىلىرى - تانتال سىر ياكى قېتىشما ئىشلىتىلىدۇ. Ultramet (يۇقىرى ئىقتىدارلىق ماتېرىيال شىركىتى) TaCl₅ نى خىمىيىلىك ھور جەريانىدا پىششىقلاپ ئىشلەپ ، Ta نى خاسىيەتلىك ماددىلارغا تارقىتىپ ، ئۇلارنىڭ كىسلاتا ۋە ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى زور دەرىجىدە ئۆستۈردى. نەتىجىدە: قاتتىق راكېتا يېقىلغۇسى ياكى چىرىتكۈچى رېئاكتىپ يېقىلغۇغا بۇزغۇنچىلىق قىلالمايدىغان زاپچاسلار (مەسىلەن كلاپان ، ئىسسىقلىق ئالماشتۇرغۇچ).
يۇقىرى ساپلىق TaCl₅ئالەم ئوپتىكا ياكى لازېر سىستېمىسى ئۈچۈن ئەينەككە ئوخشاش Ta سىر ۋە ئوپتىكىلىق كىنولارنى ساقلاشقا ئىشلىتىلىدۇ. مەسىلەن ، Ta₂O₅ ئالەم بوشلۇقى ئەينىكى ۋە ئىنچىكە لىنزادىكى نۇر قايتۇرۇشقا قارشى چاپلاشتا ئىشلىتىلىدۇ ، ھەتتا كىچىككىنە نىجاسەت دەرىجىسىمۇ ئوپتىكىلىق ئىقتىدارغا تەسىر يەتكۈزىدۇ. تەمىنلىگۈچى كىتابچە TaCl₅ نىڭ «ئالەم بوشلۇقىدىكى ئەينەك ۋە ئېنىق لىنزا ئۈچۈن نۇر قايتۇرۇش ۋە ئۆتكۈزگۈچ قاپلاش» نى قوزغىتىدىغانلىقىنى گەۋدىلەندۈردى. ئوخشاشلا ، ئىلغار رادار ۋە سېنزور سىستېمىسى ئېلېكترون ۋە چاپلاشتا تانتال ئىشلىتىدۇ ، ھەممىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى ئالدىنقىلاردىن باشلىنىدۇ.
خۇرۇچ ياساش ۋە مېتاللورگىيەدىمۇ TaCl₅ تۆھپە قوشىدۇ. كۆپ مىقداردىكى تانتال پاراشوكى داۋالاش كۆچۈرۈش ۋە ئالەم بوشلۇقى زاپچاسلىرىنى 3D بېسىپ چىقىرىشتا ئىشلىتىلگەن بولسىمۇ ، ئەمما ئۇ پاراشوكلارنىڭ ھەر قانداق خىمىيىلىك قېتىشمىسى ياكى CVD خلور خىمىيىسىگە تايىنىدۇ. ئۇنىڭ ئۈستىگە يۇقىرى ساپلىقتىكى TaCl₅ نىڭ ئۆزى باشقا رومانلار جەريانىدىكى باشقا ئالدىنقىلار بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ مۇرەككەپ ئورگانىك شەكىل ھاسىل قىلالايدۇ.
ئومۇمىي جەھەتتىن ئالغاندا ، يۈزلىنىش ئېنىق: ئەڭ تەلەپچان ئالەم قاتنىشى ۋە مۇداپىئە تېخنىكىسى «ھەربىي ياكى ئوپتىكىلىق دەرىجىدىكى» تانتال بىرىكمىسىدە چىڭ تۇرىدۇ. EpoMaterial نىڭ «mil-spec» - دەرىجىسى TaCl₅ (USP / EP ماسلىشىشچانلىقى) بىلەن تەمىنلىشى بۇ ساھەگە ماس كېلىدۇ. بىر يۇقىرى ساپلىق بىلەن تەمىنلىگۈچىنىڭ ئېيتقىنىدەك: «بىزنىڭ تانتال مەھسۇلاتلىرىمىز ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ، ئالەم قاتنىشى ساھەسىدىكى خاسىيەتلىك كېمە ۋە چىرىشكە چىداملىق سىرلاش سىستېمىسىنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى». ئىلغار ياسىمىچىلىق دۇنياسى TaCl₅ تەمىنلىگەن دەرىجىدىن تاشقىرى پاكىز تانتال يەم-خەشەكلىرى بولمىسا ئىشلىمەيدۇ.
ساپلىقى 99.99%
نېمىشقا% 99.99؟ ئاددىي جاۋاب: چۈنكى تېخنىكىدا بۇلغانمىلار ئەجەللىك. زامانىۋى ئۆزەكلەرنىڭ نانوسكولىدا ، بىر خىل بۇلغانغان ئاتوم ئېقىش يولى ياكى قىلتاق زەرەتلىسە بولىدۇ. ئېلېكترون ئېلېكترونلىرىنىڭ يۇقىرى بېسىملىق بېسىمىدا ، نىجاسەت دىئېلېكترىك بۇزۇلۇشنى قوزغىتالايدۇ. چىرىتكۈچى ئالەم بوشلۇقى مۇھىتىدا ھەتتا ppm دەرىجىلىك كاتالىزاتور تېزلەتكۈچمۇ مېتالغا ھۇجۇم قىلالايدۇ. شۇڭلاشقا ، TaCl₅ غا ئوخشاش ماتېرىياللار چوقۇم «ئېلېكترون دەرىجىسى» بولۇشى كېرەك.
سانائەت ئەدەبىياتى بۇنى تەكىتلەيدۇ. يۇقىرىدىكى پلازما CVD تەتقىقاتىدا ، ئاپتورلار TaCl₅ نى «ئوتتۇرا دەرىجىدىكى ئەڭ ياخشى [ھور] قىممىتى» سەۋەبىدىن ئېنىق تاللىغان ۋە ئۇلارنىڭ «% 99.99 ساپلىق» TaCl₅ نى ئىشلەتكەنلىكىگە دىققەت قىلغان. يەنە بىر تەمىنلىگۈچى يېزىقچىلىق بىلەن ماختىنىدۇ: «بىزنىڭ TaCl₅ ئىلغار ئايرىش ۋە رايوننى ئايرىش ئارقىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىسىگە يېتىش ئارقىلىق% 99.99 ساپلىقنى قولغا كەلتۈرىدۇ. بۇ نۇقسانسىز نېپىز پەردە چۆكۈشكە كاپالەتلىك قىلىدۇ». باشقىچە ئېيتقاندا ، جەريان ئىنژېنېرلىرى ئاشۇ تۆت توققۇز ساپلىققا باغلىق.
ساپلىقى يۇقىرى بولۇش جەرياننىڭ ئۈنۈمى ۋە ئىقتىدارىغىمۇ تەسىر كۆرسىتىدۇ. مەسىلەن ، Ta₂O₅ نىڭ ALD دا ، قالدۇق خلور ياكى مېتال بۇلغانمىلار كىنو ستوئىئومېتىرىيىسى ۋە ئېلېكتر تۇراقلىقىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ. ئېلېكتىرولىزلىق كوندېنساتوردا ئوكسىد قەۋىتىدىكى مېتاللار ئېقىش ئېقىمىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. رېئاكتىپ ماتورنىڭ Ta- قېتىشمىسىدا ، قوشۇمچە ئېلېمېنتلار ياقتۇرمايدىغان سۇنۇق باسقۇچلارنى ھاسىل قىلالايدۇ. نەتىجىدە ، ماتېرىيال سانلىق مەلۇمات جەدۋىلىدە دائىم خىمىيىلىك ساپلىق ۋە يول قويغىلى بولىدىغان نىجاسەت كۆرسىتىلىدۇ (ئادەتتە <0.0001%). % 99.99 TaCl₅ نىڭ EpoMaterial جەدۋەل جەدۋىلىدە ئېغىرلىق نىسبىتى% 0.0011 دىن تۆۋەن بولۇپ ، بۇ قاتتىق ئۆلچەملەرنى ئەكس ئەتتۈرىدۇ.
بازار سانلىق مەلۇماتلىرى بۇنداق ساپلىقنىڭ قىممىتىنى ئەكىس ئەتتۈرىدۇ. تەھلىلچىلەرنىڭ دوكلاتىغا قارىغاندا ،% 99.99 تانتال ماھىيەتلىك سۇغۇرتا ھەققىنى بۇيرۇغان. مەسىلەن ، بىر بازار دوكلاتىدا تانتالنىڭ باھاسىنىڭ «% 99.99 ساپلىق» ماتېرىيالىغا بولغان ئېھتىياجىنىڭ تۈرتكىسىدە ئىكەنلىكى كۆرسىتىلدى. دەرۋەقە ، يەرشارىدىكى تانتال بازىرى (مېتال ۋە بىرىكمىلەر بىرلەشتۈرۈلگەن) 2024-يىلى تەخمىنەن 442 مىليون دوللار بولۇپ ، 2033-يىلغا بارغاندا ~ 674 مىليون دوللارغا يەتتى - بۇ ئېھتىياجنىڭ كۆپىنچىسى يۇقىرى تېخنىكىلىق كوندېنساتور ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئالەم بوشلۇقىدىن كېلىدۇ ، بۇلارنىڭ ھەممىسى ئىنتايىن ساپ Ta مەنبەسىنى تەلەپ قىلىدۇ.
تانتال خلورىد (TaCl₅) قىزىقارلىق خىمىيىلىك ماددىدىن كۆپ بولۇپ ، ئۇ زامانىۋى يۇقىرى تېخنىكىلىق ياسىمىچىلىقنىڭ ئاچقۇچى. ئۇنىڭ ئۆزگىچە تەۋرىنىشچانلىقى ، ئاكتىپچانلىقى ۋە ئىپتىدائىي Ta ياكى Ta بىرىكمىلىرىنى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنىڭ بىرىكىشى ئۇنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، سىجىل ئېنېرگىيە ئۈسكۈنىلىرى ۋە ئالەم قاتنىشى ماتېرىياللىرى ئۈچۈن كەم بولسا بولمايدۇ. ئەڭ يېڭى 3nm ئۆزىكىدە ئاتوم نېپىز Ta پىلاستىنكىلىرىنىڭ چۆكۈپ كېتىشىدىن تارتىپ ، كېيىنكى ئەۋلاد كوندېنساتورلاردىكى دىئېلېكترىك قەۋەتنى قوللاشقىچە ، ئايروپىلاندىكى چىرىشتىن ساقلىنىش قەۋىتىنى شەكىللەندۈرۈشكىچە ، يۇقىرى ساپلىقتىكى TaCl₅ ھەممە جايدا جىمجىت.
يېشىل ئېنېرگىيە ، كىچىكلىتىلگەن ئېلېكترون ۋە يۇقىرى ئىقتىدارلىق ماشىنىلارغا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، TaCl₅ نىڭ رولى تېخىمۇ ئاشىدۇ. EpoMaterial غا ئوخشاش تەمىنلىگۈچىلەر TaCl₅ نى بۇ دېتاللارنىڭ% 99.99 ساپلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ. قىسقىسى ، تانتال خلورىد «ئالدىنقى قاتاردىكى» تېخنىكىنىڭ مەركىزىدىكى ئالاھىدە ماتېرىيال. ئۇنىڭ خىمىيىسى كونا بولۇشى مۇمكىن (1802-يىلى بايقالغان) ، ئەمما قوللىنىشچانلىقى كەلگۈسى.
يوللانغان ۋاقتى: 5-ئاينىڭ 26-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە